核心技术突破,中国EUV光源技术破局!
中国EUV光源技术进展:
中科院上海光机所林楠团队成功研发基于固体激光器的LPP-EUV光源,能量转换效率达3.42%,超越欧洲机构,打破ASML的技术垄断。
哈尔滨工业大学也成功研制出13.5nm极紫外光源,与上海光机所的技术形成闭环,理论上支持3nm制程芯片量产。
这一突破使得国产EUV光刻机的核心部件国产化率跃升70%,光源体积缩小90%,能耗降低40%。
ASML的技术进展:
ASML推出Twinscan NXE:3800E光刻机,支持3nm/2nm制程,晶圆处理速度达195-220片/小时。
正在研发Hyper NA EUV(0.75NA)光刻机,目标2030年推出,以应对1nm以下制程挑战,同时计划将EUV光源功率增至1000W并削减80%能耗。
展开剩余75%市场格局演变:国产替代加速
市场规模与增长:
全球光刻机市场规模预计到2025年将达到300亿美元以上,亚太地区,尤其是中国,需求旺盛,预计占全球市场的近一半。
中国市场对光刻机的需求持续增长,特别是在集成电路设计、制造和应用等产业链的各个环节。
竞争格局:
全球市场仍由ASML、尼康和佳能主导,但中国厂商如中微公司、上海微电子等在DUV光刻机领域取得显著进展,逐渐缩小与国外厂商的差距。
ASML在中国市场的营收占比从2024年的41%骤降至2025年Q1的27%,受出口管制影响,DUV光刻机产能扩张计划面临需求萎缩。
政策与贸易环境:博弈与合作并存
出口管制与反制
美国压力升级:美国考虑动用《外国直接产品规则》限制先进半导体技术出口,但日本和荷兰明确表示不打算跟随。
中国反制措施:2025年4月,中国对钐、钆等7类中重稀土实施出口管制,冲击美国半导体产业。同时,国内企业加速“去美化”供应链,比亚迪自研车规级MCU芯片实现100%国产化。
国际合作与竞争
ASML的双重角色:ASML一方面与ARCNL合作研发前沿技术,另一方面通过“技术规避”维持对华DUV设备供应(如NXT:1980Di通过多重曝光实现10nm制程)。
新兴厂商崛起:中国新凯来等企业研发光刻、沉积、测量等设备,试图打破ASML、应用材料等垄断。
相关概念股梳理
福晶科技
全球最大LBO、BBO晶体供应商,提供光刻机准分子激光器核心KBBF晶体,已通过ASML认证。
南大光电
国内唯一实现ArF光刻胶量产(覆盖7nm),打破日本TOK垄断,成本较进口低30%。
中微公司
半导体设备厂商,产品包括刻蚀机等,与光刻机产业链协同。
晶方科技
全球唯二掌握WLCSP封测技术并供货ASML,光刻机光学传感器封装市占率超50%。
张江高科
通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子10.779%的股权。
最后一家,也是作者为大家挖掘的一家“光刻机”最稀缺龙头,打破国外垄断!
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1、公司的KBBF是目前唯一可倍频产生紫外激光的非线性光学晶体。
2、世界非线性晶体第一龙头,全球市占率80%,毛利率高达75%,只有垄断性,没有替代性!。
3、中科院旗下唯二的世界级科技公司,间接为京东方和三星挺供柔性屏材料。
4、股东户数连续4期下降,筹码开始趋于集中,主力底部吸筹超50%,拉升在即!
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